Reinraumroboter
Halbleiter und Elektronik
HOCHLEISTUNGSFÄHIGE SPEZIALISIERTE HANDHABUNGSROBOTER
Kawasaki hat eine umfangreiche Palette von branchenführenden Handhabungsrobotern für Halbleiter und Elektronik im Angebot. Diese Roboter sind speziell konstruiert für Anwendungen im Reinraum, einschließlich ISO-Klasse 1. Geschwindigkeit, Genauigkeit und Reichweite machen diese Roboter ideal für die Handhabung von empfindlichen Halbleiterwafern, LCD-Anzeigen, organischen Leuchtdioden und Solarmodulen.
Reinraumroboter:
Klicken Sie auf eine Serie, um mehr zu erfahren. Hinweis: Die Bilder sind nicht maßstabsgerecht.
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- SANFTER BETRIEB
- Die Roboter der NTS und TTS Reihe können ohne Schiene auf 2 oder 3 EFEM FOUPs zugreifen. Das speziell entwickelte Antriebssystem ermöglicht es dem Roboter, sich unglaublich sanft und mit hoher Präzision zu bewegen.
- EINZIGARTIGER UND STABILER TELESKOPMECHANISMUS
- Das Design der TTS Reihe setzt auf den horizontalen Arm der NTS Reihe mit einer besonder stabilen Teleskopbasis, die ein schnelles Handling in hohen und niedrigen Positionen ermöglicht.
- KONFORM MIT DEM SEMI-STANDARD
- Die Serien NTS und TTS erfüllen den Standard SEMI-F47 sowie die Norm SEMI-S2 unter Berücksichtigung von Umwelt und persönlicher Sicherheit.
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