クリーンロボット

クリーン搬送で世界をリードするカワサキは、グローバルな調達・生産・サービス体制を確立し、ロボットや周辺装置はもちろん、オートメーションシステムのエンジニアリングまで、クリーン業界の幅広いニーズにお応えしてきました。従来になかった独創的なソリューションをお届けします。

代表的な用途:

クリーンロボット:

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注記：画像は一定の尺度ではありません。

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    クリーンロボットのカタログ

     

    特長

    ■ NTSおよびTTSシリーズは一台のロボットで2FOUPから3FOUPまでのEFEMに走行装置なしで対応可能。
    ■ TTSシリーズは上下軸にテレスコピック機構を採用し、低いパスラインと高い位置への搬送を両立。
    ■ SEMI-F47規格に対応。
    ■ SEMI-S2規格に対応。環境・安全への配慮も十分。