TTSシリーズ
TTSシリーズは、一台のロボットで2FOUPから3FOUPまでのEFEMに走行装置なしで対応可能で、カワサキ独自の駆動機構により高精度・高剛性な動作を実現しています。
さらに、上下軸にテレスコピック機構を採用し、低い最低パスラインと高い位置への運搬を両立しています。
TTSシリーズ:
TTS10 シングルアーム
TTS20 ダブルアーム
用途:
TTS20
*標準仕様にハンドはついていません。資料ダウンロード
レイアウト例
●TTSシリーズは走行装置なしで2～3FOUPまでのEFEMに対応可能。
TTSシリーズ 仕様
| 項目 | 標準 | オプション | ||
| 型式 | TTS10 | TTS20 | ― | |
|---|---|---|---|---|
| 基本構造 | テレスコピック型、水平多関節型 | ― | ||
| アーム | シングルアーム | ダブルアーム | ― | |
| 自由度 (軸) | 4 | 5 | ― | |
| 動作範囲 | θ1軸 (回転・JT2) (°) | 340 | ― | |
| Z軸 (上下・JT3) (㎜) | 740 | ― | ||
| θ2軸 (回転・JT4) (°) | 340 | ― | ||
| H1軸 (回転・JT6) (°) | 340 | ― | ||
| H2軸 (回転・JT7) (°) | ― | 340 | ― | |
| 最大リーチ (mm) | 1,066 | ― | ||
| 位置繰り返し精度 (mm) ※1 | ±0.1 (ウェハ中心) | ― | ||
| クリーン度※2 | ISOクラス1 | ― | ||
| ハンド仕様※3 | ― | ― | エッジグリップ/バキューム | |
| コントローラ / 所要電源 | D60 / 最大1.0kVA | ティーチペンダント | ||
| 分離ハーネス (1～5m) ※4 | 操作BOX | |||
| ソフトウェア | 標準動作ソフトウェア | KRET | ||
| KMTerm | KR3D | |||
| KSUtility Lite | KSUtility | |||
| マニュアル | 取扱説明書 | ― | ||
| 通信コマンド説明書 | ― | |||
| 総合パッケージソフトウェア (K-Fast) 導入手順書 | ― | |||
| その他 | ― | アライナ | ||
| ― | マッピングセンサ | |||
※1：ISO9283に準拠しています。
※2：当社クリーンブース内の計測によります。
※3：標準仕様にハンドはついていません。
※4：分離ハーネスは1m、2m、2.5m、3m、3.5m、4m、4.5m、5mから長さを選択してください。
詳細仕様等は各地区営業担当者までお問い合わせください。
お問合せ
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