NTS시리즈 로봇

NTS시리즈는 사양

항목		표준		옵션
형식		NTS10	NTS20	―
기본 구조		수평다관절 암		―
암		싱글 핸드	듀얼 핸드	―
동작 자유도(축)		4	5	―
동작 범위	θ1축(회전・JT2)(°)	340		―
	Z축(상하・JT3)(㎜)	470		―
	θ2축(회전・JT4)(°)	340		―
	H1축(회전・JT6)(°)	340		―
	H2축(회전・JT7)(°)	―	340	―
최대 리치(mm)		1,066		―
위치반복정밀도(mm)*1		±0.1(웨이퍼 중심)		―
클린도*2		ISO 클래스1		―
핸드 사양*3		―	―	에지 그립/진공
대응 컨트롤러		D60		티치 펜던트
		분리 하네스(1～5m)*4		조작 박스
소프트웨어		표준 소프트웨어		KRET
		KMTerm		KR3D
		KSUtility Lite		KSUtility
설명서		취급설명서		―
		통신커맨드 설명서		―
		종합 패키지 소프트웨어 (K-Fast) 도입안내서		―
기타		―		얼라이너
		―		매핑 센서

*1：ISO9283에 준거하였습니다.

*2：당사 클린 부스 내에서의 계측

*3：표준사양에 핸드는 제외입니다.

*4：분리하네스는 1m、2m、2.5m、3m、3.5m、4m、4.5m、5m길이에서 선택해 주세요.

　　　　　　　　　　　

상세사양 등은 각 지역 영업담당자에게 문의해 주세요.